Messtechnische Ausstattung

Neben den Menschen ist eine exzellente technische Ausstattung die Grundvoraussetzung für herausragende Forschungsarbeiten und wissenschaftlichen Erkenntnisgewinn. Nachstehend sind die zur Verfügung stehenden Messräume kurz beschrieben und die am Lehrstuhl eingesetzten Messgeräte aufgelistet.

Messräume

Nur ein geeignet gestalteter Messraum gewährleistet für Messaufgaben mit der Forderung nach geringsten Ergebnisunsicherheiten gleichbleibende und reproduzierbare Umgebungsbedingungen. Ziel der wissenschaftlichen und industriellen Messtechnik ist insbesondere die Verbesserung der Messgenauigkeit im Mikrometer- und Submikrometerbereich bei gleichzeitig angestrebter Automatisierung der Messverfahren. Für den Erfolg der wissenschaftlichen bzw. industriellen Forschungsarbeit und für die Anerkennung der Ergebnisse in der Fachwelt müssen zuverlässige Messergebnisse unter Anschluss an die international vereinbarte Längeneinheit Meter und unter Berücksichtigung der Bezugstemperatur, die durch die internationale Normung auf 20 °C festgelegt ist, gewonnen werden. Mit seiner Temperaturkonstanz und Stabilität stellt der Messraum im Messzentrum FMT diese Forderungen sicher. Nahezu alle Erzeugnisse, auch solche mit komplexer Gestalt, können mit Hilfe der taktilen 3-D-Koordinatenmesstechnik und mit berührungslosen optischen Messverfahren mit einer ausgezeichneten Genauigkeit geprüft werden.

Leistungsmerkmale

Die bauphysikalische Gestaltung des Messzentrums, die Störungen durch die Umwelt beim Messen weitestgehend reduziert, seine leistungsstarke und hochgenaue Klimatisierung sowie seine beachtliche Geräteausstattung sind herausragende Merkmale des Messraums des Lehrstuhls FMT. Dies ermöglicht optische und taktile Messungen an Werkstücken mit Genauigkeiten im Mikro- und Submikrometerbereich. Der Messraum selbst befindet sich zwei Meter unter der Außenfläche und ist von der Südseite durch einen überirdischen Verbindungsgang vor direkten Umgebungseinflüssen zusätzlich geschützt. Die Anlieferung, auch großer Werkstücke, ist durch eine Rampe problemlos zu bewerkstelligen. Ein elektrischer Gabelstapler ermöglicht die Bestückung der messtechnischen Einrichtungen mit schweren Werkstücken. Auf einer Gesamtfläche von 480 m² ist zwischen Elektroraum für die Klimatisierung des Messzentrums, Archiv, Vorbereitung, Schleusen und Vorschleusen ein Messraum der Güteklasse A entsprechend den Anforderungen der Richtlinie VDI/VDE 2627 Blatt 1, 2015-12 in einem Volumen von 620 m³ vorhanden.

Temperatur

Zum Gewährleisten einer zeitlichen und räumlichen Temperaturkonstanz von 20 °C ±0,2 K (Temperaturklasse A nach VDI/VDE 2627 Blatt 1) ist ein stabiles System aus Klimatisierung, Schleuse, Vorschleuse und Windfang aufgebaut. Ein 9:1 Luftgemisch aus Raum- und Frischluft wird durch Drallauslässe von der sechs Meter hohen Decke bis zu einer Höhe von ca. vier Metern turbulent eingeblasen. Der Gesamtluftaustausch findet 18 mal pro Stunde statt. Mit der anschließend nahezu laminaren Luftströmung wird eine optimale Durchmischung der Luftschichten erreicht. Die Luft wird durch feinjustierbare Gitter auf der Höhe von 0,15 m und 3,0 m angesaugt und der Aufbereitung wieder zugeführt. Durch die Rückführung der Luft in den hohlen Seitenwänden ist zwischen Raumluft und Wänden kein Temperaturunterschied vorhanden. Durch die elektrische Fußbodenheizung ist der Boden des Messraums auf konstant 20 °C temperiert. Das Beleuchtungssystem aus Kaltlicht wird mit einem Luftdurchsatz von 300 m³/h direkt abgesaugt. Große Wärmelasten (z. B. Steuerschrank) werden direkt abgesaugt. Alle Wärmequellen im Messraum bleiben durchgehend angeschaltet, um eine konstante Wärmelast zu erzeugen. Das Schleusensystem lässt keinen direkten Luftaustausch zwischen Außen- und Messraumbereich zu. Der Personenverkehr ist durch ein Codesystem an den Zugängen reglementiert und auf eine maximale Personenanzahl beschränkt. Nur eingewiesene Mitarbeiter haben direkten Zutritt zum Messraum. Die hochsensible Temperatursteuerung wird über vier kalibrierte Pt100-Doppelsensoren an einer kalibrierten Widerstands-Messbrücke (Messunsicherheit 0,005 K) angesteuert. Die Visualisierung der aktuellen Temperatur in den vier Quadranten ist über eine zentrale Anzeige im Messraum umgesetzt. Ein Warnlicht signalisiert einen Temperaturunterschied zwischen zwei Pt100-Sensoren von > 0,3 K. Die Anzeige ist durch die thermoverglasten Büros jederzeit einsehbar.

Luftfeuchtigkeit

Die Luftfeuchtigkeit erfüllt mit 45 % ±10 % rel. Feuchte im Messraum die Feuchteklasse A nach VDI/VDE 2627 Blatt 1. Die Luftfeuchte wird über einen Kaskadenregler in der Klimasteuerung geregelt. Die Aufnahme ist über Kanalfeuchtefühler in Zu- und Ablaufkanälen realisiert. Zusätzlich begrenzt ein Hygrostat im Zuluftkanal die maximale Feuchte. Zur Entfeuchtung wird die Luft durch ein Kälteregister mit Tropfendabscheidern und nachgeschaltetem Lufterhitzer geleitet.

Schwingung

Um den Schwingungseintrag aus der Umgebung auf die messtechnischen Einrichtungen zu reduzieren, stehen alle messtechnisch relevanten Einrichtungen auf einer einmeterdicken massiven Betonplatte, die ihrerseits durch ein Kiesbett und eine isolierende Dämpfungsschicht (Spezialpolymer) von Boden getrennt ist. Eine umlaufende Trennfuge entkoppelt die Bodenplatte vom restlichen Gebäude.

Der Hauptstandort des Lehrstuhles in der Nägelsbachstrasse 25 verfügt über 2 Messräume von je ca. 60 m². Beide sind auf 20 °C ±1 K klimatisiert. Die Labore dienen Messaufgaben entsprechend ihrer Ausstattung und bieten freie Arbeitsplätze für Versuchsaufbauten der Studenten und wissenschaftlichen Mitarbeiter.

Messraum 1 (Raum 1.14)

Der Messraum 1 wird als Labor für optische Messtechnik benutzt.  Er ist gekennzeichnet durch die Möglichkeit zur kompletten Abdunklung. Der Raum wird vorrangig für optische Messsysteme (z. B. Streifenlichtprojektionmesstechnik und optische Oberflächenmesstechnik) genutzt.

Messraum 2 (Raum 1.10)

Der Messraum 2 wird als Labor für taktile und optische Koordinatenmesstechnik benutzt. Neben einer optischen Bank mit Schwingungsdämpfung und einer umfangreichen Grundausstattung optischer und mechanischer Bauelemente stehen ein handgeführtes KMG sowie ein Werth Videocheck IP zur Verfügung.

Koordinatenmessgeräte

Das taktile Portalkoordinatenmessgerät Zeiss UPMC 1200 CARAT S-ACC (S-ACC = Super Accuracy) ermöglicht das hochgenaue Messen von Maß-, Form- und Lageparametern von Werkstücken in einem Messbereich von 1200 mm x 1500 mm x 1000 mm. Das Konstruktionsprinzip mit einem stationären Tisch und bewegtem, zentral angetriebenen Portal gewährleistet eine hohe dynamische Steifigkeit und sichert die Gerätegenauigkeit unabhängig von den aufgebrachten Werkstückmassen. Die Messsoftware Zeiss Calypso ist für die Kalibrierung von prismatischen Werkstücken mit dem Koordinatenmessgerät im Rahmen der bestehenden DAkkS-Akkreditierung K-17960-01 mit der Softwareoption Virtuelles Koordinatenmessgerät (OVCMM) ausgestattet.

Spezifikationen:

Tastverfahren: Einzelpunkte, Scanning
Maximal zulässige Längenmessabweichung nach ISO 10360-2:
  • MPE E1 = 0,9 µm + L/500 (µm/m)
  • MPE E3 = 1,5 µm + L/300 (µm/m)
Maximal zulässige Antastabweichung (Maß) nach ISO 10360-2: MPE PS = 1,5 µm
Maximale Tischbelastung: 2000 kg
Auflösung der Längenmesssysteme der Achsen: 0,08 µm
Auflösung des Drehtisches: 0,45“

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Andreas Gröschl, Dipl.-Ing.

Das Multisensor-Koordinatenmessgerät Werth VideoCheck UA 400 erfasst Geometrieelemente in einem Messbereich von 400 mm x 400 mm x 200 mm. Eine Besonderheit dieses Gerätes ist der opto-taktile Fasertaster. Weiter ist das Messgerät mit einem konfokal chromatischen Aberrations-Sensor, einem schaltenden Taster (TP 200) und einem Bildverarbeitungssensor ausgestattet. Das Messgerät findet Anwendung bei der berührenden und berührungslosen Erfassung von Geometrieelementen an Mikrobauteilen wie z. B. Mikrozahnrädern.

Spezifikationen:

Messbereich: 400 mm x 400 mm x 200 mm
Maximal zulässige Längenmessabweichung nach ISO 10360-2
  • MPE E1: (0,35+L/900) µm
  • MPE E2: (0,5+L/600) µm
  • MPE E3: (0,75+L/500) µm (L in mm)
Maximale Tischbelastung: 150 kg
Ortsauflösung der Längenmesssysteme: 1 nm

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Andreas Gröschl, Dipl.-Ing.

Spezifikationen:

Messbereich: 250 mm x 125 mm x 250 mm
Längenmessabweichung gem. ISO 10360-2:
  • MPE E1: (1,4 + L / 250) μm (L in mm)
  • MPE E2: (2,5 + L / 175) μm (L in mm)
  • MPE E3: (3,5 + L / 150) μm (L in mm)
Ortsauflösung der Längenmesssysteme: 0,1 μm
Max. Werkstückmasse: 30 kg

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Helmut Gerschütz, MB-Techniker

Spezifikationen:

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Helmut Gerschütz, MB-Techniker

Formmessgeräte

Die MFU 800 ist ein hochgenaues Formmessgerät mit drei Messachsen (C, Z und X). Es wird insbesondere für die Messung von eng tolerierten, vorwiegend rotationssymmetrischen Präzisionsteilen eingesetzt. Typische Messaufgaben sind hochgenaue Formmessungen mit Formtoleranzen im Bereich < 1 µm, wie sie z. B. bei Einspritzkomponenten vorliegen.

Spezifikationen:

Tastverfahren: Scanning, Einzelpunkte
Messbereich: 200 mm x 500 mm (ohne Einsatz des Drehtisches)
Werkstückmasse: max. 100 kg
Ortsauflösung linear: 0,1 µm
Ortsauflösung polar: 1.800 Punkte/°

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Andreas Gröschl, Dipl.-Ing.

Oberflächenmessgeräte

Das Form TalySurf Serie 2 PGI ist ein taktiles Oberflächenmessgerät, mit dem Mikrostrukturen und Konturen im Makrobereich aufgenommen werden können. Die Oberfläche des Werkstücks wird von dem eingesetzten Taster (Tastnadelradien im Bereich von 2 µm bis 1 mm) erfasst und durch das am entgegengesetzten Ende des Tasthebels befindliche Phasengitter ausgelenkt. Ein interferometrischer Lesekopf dient zur photoelektrischen Erfassung der Auslenkung des Tasthebels und der Kontur der Werkstückoberfläche. Durch die über den Messbereich konstante Auflösung des inkrementellen Phasengitterinterferometers von 12,8 nm können Strukturen mit Höhenunterschieden von wenigen Mikrometern bis zu 20 mm (abhängig von der Tasterlänge) auf der Werkstückoberfläche erfasst werden.

Spezifikationen:

Messbereich:
  • vertikal (z) +/- 20 mm (abhängig von der Tasterlänge)
  • in Vorschubrichtung (x) 120 mm
  • senkrecht zur Vorschubrichtung (y): 100 mm
Auflösung vertikal 12,8 nm (bei 10 mm Messbereich)

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Andreas Gröschl, Dipl.-Ing.

Spezifikationen:

Messbereich lateral: 100 mm x 100 mm
Messbereich vertikal: 100 mm
Messwinkel: 90° ± 85° (Abhängig von der Oberfläche)
Max. Werkstückhöhe: 240 mm
Max. Werkstückmasse: 20 kg

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Johannes Brütting, MB-Techniker

Das Multisensormesssystem FRT MicroGlider ist ein Oberflächenmessgerät für berührungslose und berührende Messungen mit Subnanometer-Auflösung. Es umfasst einen konfokal chromatischen Aberrationssensor (laterale Auflösung: 1 µm bis 2 µm; vertikale Auflösung: 10 nm), der die Probe mit fokussiertem Weißlicht bei einem Arbeitsabstand von 4,5 mm beleuchtet. Das reflektierte Licht wird mit einem Spektrometer zur Abstandsbestimmung ausgewertet, so dass Strukturen auf der Oberfläche des Werkstücks erfasst werden können. Mit dem als weiteren Sensor integrierten Rasterkraftmikroskop wird die Werkstückoberfläche mit einer kleinen Siliziumspitze (Cantilever) abgetastet (laterale Auflösung: 5 nm, vertikale Auflösung 2 nm). Zusätzlich lassen sich die Oberflächen mit einem taktilen Tastsystem (Profilometer: Taststrecke max. 20 mm; Oberflächentaster mit 2 µm Spitzenradius und 60° Öffnungswinkel) erfassen.

Spezifikationen:

Messbereich (x, y): 350 mm x 350 mm
Tischbelastung: max. 5 kg
Verfahrgeschwindigkeit: max. 100 mm/s

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Andreas Gröschl, Dipl.-Ing.

 

Spezifikationen:

Messbereich lateral: min. 0,36 mm x 0,36 mm
max. 1,8 mm x 1,8 mm
Messbereich vertikal: 400 μm
Auflösung lateral: 0,35 μm bis 1,7 μm
Auflösung vertikal: 0,01 nm
Objektive (Mirau, Nikon): 10x, 20x, 50x

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Johannes Brütting, MB-Techniker

Spezifikationen:

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Zhongyuan Sun, M.Sc.

Spezifikationen:

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Helmut Gerschütz, MB-Techniker

Mikro- und Nanomesstechnik

Das Oberflächen- und Koordinatenmesssystem NMM-1 hat einen Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm und eine Auflösung von kleiner 0,1 nm. Dieses Gerät dient zur Präzisionsmessung von Mikro- und Nanostrukturen, insbesondere in der Mikro- und Optoelektronik. Das Messobjekt wird auf eine Spiegelrecke mit verspiegelten Außenflächen, die als Messspiegel dreier Laserinterferometer dienen, gebracht. Dieser Aufbau realisiert das Abbe’sche Komparatorprinzip in allen drei Messachsen und ermöglich somit hochgenaue Messungen. Durch Nutzung des Antastsensors als Nullindikator wird der Messbereich des Sensors auf den Positionierbereich des Geräts ausgeweitet.Das System kann mit verschiedenen Antastsytemen ausgestattet und genutzt werden. Es stehen ein Fix-Fokussensor, ein Weißlichtinterferometer sowie taktile und elektrische 3-D-Mikrotaster als Antastsensoren zur Verfügung. Es wird zusätzlich an weiteren Sensoren (Konfokalsensor, AFM-Sensoren) gearbeitet, welche die Nutzungs- und Messmöglichkeiten erweitern sollen.

Spezifikationen:

Messbereich: 25 mm x 25 mm x 5 mm
Ortsauflösung der Positionierachsen: < 0,1 nm

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Zhongyuan Sun, M.Sc.

Spezifikationen:

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Zhongyuan Sun, M.Sc.

Spezifikationen:

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Zhongyuan Sun, M.Sc.

Röntgen-Computertomografen

Mit der Röntgen-Computertomografie können Bauteile und Werkstücke in ihrer Oberfläche sowie innenliegender Strukturen messtechnisch erfasst werden. Besonders vorteilhaft sind die vollständige Erfassung des Bauteils, die hohe Anzahl von Messpunkten und die gute Auflösung. Dies bildet die Grundlage für genaue Messungen von äußeren und inneren Merkmalen, d. h. auch von konventionell (taktil oder optisch) nicht zugänglichen Merkmalen. Das TomoCheck als Multisensormessgerät ermöglicht die Kombination der Messungen mit dem CT-Sensor mit taktilen und optischen Sensoren in einem Messablauf. Typische Anwendungsgebiete sind die hochaufgelöste Messung kleiner Bauteile mit komplexer Gestalt oder die vollständige Erfassung von Kunststoffbauteilen, z. B. zur Erstbemusterung.

Spezifikationen:

Messbereich Computertomografie:
  • L = 200 mm; D = 90 mm (mit Rastertomographie)
  • L = 45 mm, D = 45 mm (ohne Rastertomographie)
Messbereich taktile und optische Messung: 200 mm x 100 mm x 150 mm
Werkstückmasse: max. 10 kg
Auflösung der Längenmesssysteme in den Achsen: 0,1 µm
Maximal zulässige Längenmessabweichung nach ISO 10360-2:
  • MPE E3: (4,5+L/75) µm (L in mm) für CT
  • MPE E3: (1,5+L/300) µm (L in mm) mit Werth-Korrektur

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Eric Helmecke, M.Sc.

Der industrielle Röntgen-Computertomograf METROTOM 1500 der Firma Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH ermöglicht die Durchführung von komplexen Mess- und Prüfaufgaben an Kunststoff- und Metallbauteilen. Durch das große realisierbare Messvolumen und die leistungsstarke Röntgenquelle können auch größer dimensionierte Bauteile komplett erfasst werden. Gleichzeitig können auch innenliegende Strukturen, welche taktil oder optisch nicht zugänglich sind, gemessen werden. Ein in Sonderanfertigung implementierter Hexapod erlaubt neue innovative Messstrategien.

Spezifikationen:

Messbereich: L = 350 mm; D = 300 mm
Röhrenspannung, -leistung: 30 kV bis 225 kV, 500 W
Quelle-Detektor-Abstand: 1500 mm
Detektorauflösung: 2048 Pixel x 2048 Pixel
Systemgenauigkeit MPE entsprechend VDI/VDE 2630 Blatt 1.3:
  • Längenmessabweichung: E (TS) (9+L/50) µm (L in mm)
  • Antastabweichung: PS (TS) 3 µm
  • Kugelmittelpunktabstandsabweichung: SD (TS) (4,5+L/50) µm (L in mm)

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Lorenz Butzhammer, M.Sc.

Fotogrammetrie- und Streifenprojektionsmesssysteme

Spezifikationen:

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Bogdan Galovskyi, Dipl.-Ing.

Das GFM TopoCam 500mobile ist ein mobiles Streifenprojektionsmesssystem mit Zwei-Kamera-Konfiguration, welches zur Prüfung flächiger Leichtbauteile geeignet ist. Dabei wird das Messobjekt unter einem Triangulationswinkel mit äquidistanten Streifen beleuchtet, wodurch eine Bestimmung der Topographie des Objekts durch das deformierte Muster erfolgen kann. Neben der Streifenposition liefern so auch deren Grauwerte Höheninformationen, woraus eine sehr hohe Auflösung hinsichtlich Oberflächengeometrieerfassung resultiert. Das Messgerät enthält einen Projektor LT 170 der Firma NEC Display Solutions, Ltd. mit einer maximalen Auflösung von 1600 Pixel x 1200 Pixel. Die beiden Kameras A631f der Firma Basler AG weisen jeweils eine Kameraauflösung von 1392 Pixel x 1040 Pixel auf. Durch den großen Messbereich des Systems können großflächige Bauteile erfasst werden.

Spezifikationen:

Hersteller: LMI Technologies (ehemals GFMesstechnik GmbH)
Messbereich: 500 mm x 400 mm x 400 mm
Lat. Auflösung: 266 µm
Ver. Auflösung: 10 µm

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Sebastian Metzner, M.Sc.

Spezifikationen:

Hersteller: LMI Technologies (ehemals GFMesstechnik GmbH)
Messbereich: 100 mm x 80 mm x 50 mm
Lat. Auflösung: 48 µm
Ver. Auflösung: 2 µm

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Bogdan Galovskyi, Dipl.-Ing.

Spezifikationen:

Hersteller: LMI Technologies (ehemals GFMesstechnik GmbH)
Messbereich: 180 mm x 150 mm x 120 mm
Lat. Auflösung: 90 µm
Ver. Auflösung: 5 µm

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Bogdan Galovskyi, Dipl.-Ing.

MikroCAD ist die Produktlinie von LMI Technologies (ehemals GFMesstechnik GmbH) zur 3-D-Oberflächenmessung. Die Geräte sind für eine Vielzahl von Anwendungen wie der industriellen Fertigungsmesstechnik mit unterschiedlichen Messbereichen und Auflösungen verfügbar. Das System ist für die dreidimensionale Analyse von Oberflächenprofilen und Rauheiten bei Klein- und Mikroteilen mit hoher Messgeschwindigkeit und hoher Präzision konzipiert. Hierzu wird das Messverfahren der Streifenprojektion auf Mikrospiegelbasis verwendet. Die Oberfläche des Messobjektes wird innerhalb in kurzer Zeit als Punktewolke erfasst und kann in weiteren Schritten analysiert werden.

Der Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik besitzt die beiden Mikro-Streifenprojektionssysteme MikroCAD pico 1,0 und MikroCAD pico 0,3. Durch eine Kombination aller Sensoren ist es möglich, sehr feine Oberflächenstrukturen und -geometrien gemäß den Anforderungen an die Genauigkeit zu erfassen und auszuwerten. Die Messvolumina sind mit Größen von 13 mm x 10 mm x 3 mm bzw. 4 mm x 3 mm x 1 mm sehr gering, wodurch sich allerdings sehr hohe vertikalen Auflösungen von bis 1,0 µm bzw. 0,3 µm ergeben. Die lateralen Auflösungen sind bei den Messgeräten mit 17 µm bzw. 2,5 µm angegeben. Der Lehrstuhl besitzt mit jeweils mehreren Sensoren von beiden Gerätetypen eine ausreichende Anzahl von Systemen, um auch sehr komplexe Bauteile in sehr kurzer Zeit messen zu können.

Spezifikationen (MicroCAD 1,0):

Hersteller: LMI Technologies (ehemals GFMesstechnik GmbH)
Messbereich: 12,4 mm x 7,9 mm x 4,4 mm
Lat. Auflösung: 17 µm
Ver. Auflösung: 1 µm

Spezifikationen (MicroCAD 0,3):

Hersteller: LMI Technologies (ehemals GFMesstechnik GmbH)
Messbereich: 4,4 mm x 2,8 mm x 1 mm
Lat. Auflösung: 2,5 µm
Ver. Auflösung: 0,3 µm

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Sebastian Metzner, M.Sc.

Spezifikationen:

Hersteller: GOM mbH
Messbereich: 115 mm x 88 mm x 92 mm
Lat. Auflösung: 75 µm
Ver. Auflösung: 75 µm

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Bogdan Galovskyi, Dipl.-Ing.

Spezifikationen:

Hersteller: GOM mbH
Messbereich: 195 mm x 143 mm x 158 mm
Lat. Auflösung: 80 µm
Ver. Auflösung: 80 µm

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Bogdan Galovskyi, Dipl.-Ing.

Sonstige Messgeräte

Spezifikationen:

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Andreas Gröschl, Dipl.-Ing.

Das faseroptische Distanzmesssystem FDM-1 der Firma fionec GmbH ermöglicht oberflächenunabhängige und ultrapräzise Messungen im Nanometerbereich. Das berührungslose Messprinzip beruht dabei auf einer kurzkohärenten Interferometrie und liefert dadurch absolute Messwerte. Dadurch können unterschiedlichste Materialien des Messobjekts wie Glas, Metall oder Kunststoff mit transparenten, spiegelnden oder matten Oberflächen erfasst werden. Zusätzlich ist ein faseroptischer, 2-fach Schalter integriert, welcher zum sequentiellen Abfragen von zwei Messsonden dient. Die Messwertstreuung liegt bei Punktmessungen in der Mitte des Messbereichs bei unter 10 nm.

Spezifikationen:

Hersteller: fionec GmbH
Messbereich: 80 µm
Messwertstreuung < 10 nm

Standort:

Hauptstandort

Ansprechpartner:

Sebastian Metzner, M.Sc.

Spezifikationen:

Standort:

Messzentrum

Ansprechpartner:

Andreas Gröschl, Dipl.-Ing.