Hans-Günter Horter

Das Oberflächen- und Koordinatenmesssystem NMM-1 hat einen Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm und eine Auflösung von kleiner 0,1 nm. Dieses Gerät dient zur Präzisionsmessung von Mikro- und Nanostrukturen, insbesondere in der Mikro- und Optoelektronik. Das Messobjekt wird auf eine Spiegelrecke mit verspiegelten Außenflächen, die als Messspiegel dreier Laserinterferometer dienen, gebracht. Dieser Aufbau realisiert das Abbe’sche Komparatorprinzip in allen drei Messachsen und ermöglich somit hochgenaue Messungen. Durch Nutzung des Antastsensors als Nullindikator wird der Messbereich des Sensors auf den Positionierbereich des Geräts ausgeweitet.Das System kann mit verschiedenen Antastsytemen ausgestattet und genutzt werden. Es stehen ein Fix-Fokussensor, ein Weißlichtinterferometer sowie taktile und elektrische 3-D-Mikrotaster als Antastsensoren zur Verfügung. Es wird zusätzlich an weiteren Sensoren (Konfokalsensor, AFM-Sensoren) gearbeitet, welche die Nutzungs- und Messmöglichkeiten erweitern sollen.

Messbereich: 25 mm x 25 mm x 5 mm

Auflösung: < 0,1 nm